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電子級亞磷酸三甲酯(TMP)

產品描述
參數

一、分子式:P(OCH3)3

二、分子量:124.08

三、理化性質

無色液體,有刺激性臭味,熔點-78℃,沸點111~112℃,密度1.05g/mL。易燃,不溶于水。遇水緩慢分解為磷酸和甲醇。

四、用途

主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半導體、微機電系統(MEMS)制造所需的重要電子化學品。

五、質量指標

分析項目

技術指標

技術指標

8.5N

9N

純度,min

99.9999995%

99.9999999%

B ,max

50  ppb

50  ppb

Cl-,max

50  ppb

50  ppb

水分,max

 25  ppm

 25  ppm

顆粒數≥0.2μm,max

10 p/ml

10 p/ml

顆粒數≥0.3μm,max

7 p/ml

7 p/ml

顆粒數≥0.5μm,max

5 p/ml

5 p/ml

顆粒數≥1.0μm,max

1 p/ml

1 p/ml

主含量,min

99.99%

99.99%

色度,max

5APHA

5APHA

 

 

六、包裝

容器:不銹鋼瓶

外包裝:不銹鋼箱柜

規格: 1.5L、2加侖、5加侖(19L)、10加侖。

 

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貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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