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電子級三甲基鋁(TMA)

產品描述
參數

一、分子式:Al(CH3)3            

二、分子量:72.09

三、理化性質:

無色透明液體,熔點15℃,沸點127℃,密度0.752g/mL。在空氣中瞬間就能著火自燃,與具有活性氫的醇、酸及水劇烈反應。與己烷、庚烷等脂肪烴及甲苯、二甲苯等芳香烴以任意比例混溶。

四、用途:

在光伏領域用于PECVD或ALD沉積Al2O3鈍化膜;在半導體制造,用于沉積High-k材料介質薄膜,如Al2O3;同時,TMA還是有機金屬化學氣相沉積法(MOCVD)制造含鋁半導體(如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等)中有機金屬的重要來源。

五、質量指標:

分析項目

技術指標

分析項目

技術指標

5N

6N

5N

6N

銀(Ag),max

0.4 ppm

10 ppb

鋰(Li),max

0.1 ppm

5 ppb

砷(As),max

0.5 ppm

10 ppb

鎂(Mg),max

0.05 ppm

10 ppb

硼(B),max

0.4 ppm

10 ppb

錳(Mn),max

0.05 ppm

10 ppb

鋇(Ba),max

0.1 ppm

10 ppb

鈉(Na),max

0.5 ppm

20 ppb

鈹(Be),max

0.2 ppm

5 ppb

鎳(Ni),max

0.4 ppm

20 ppb

鉍(Bi),max

0.2 ppm

5 ppb

鉛(Pb),max

1 ppm

10 ppb

鈣(Ca),max

0.1 ppm

10 ppb

硒(Se),max

1 ppm

10 ppb

鎘(Cd),max

0.1 ppm

10 ppb

硅(Si),max

1 ppm

20 ppb

鈷(Co),max

0.1 ppm

10 ppb

錫(Sn),max

0.1 ppm

10 ppb

鉻(Cr),max

0.1 ppm

20 ppb

碲(Te),max

0.1 ppm

10 ppb

銅(Cu),max

0.15 ppm

20 ppb

鈦(Ti),max

0.1 ppm

50 ppb

鐵(Fe),max

0.1 ppm

50 ppb

釩(V),max

0.2 ppm

50 ppb

鎵(Ga),max

0.2 ppm

50 ppb

鋅(Zn),max

0.2 ppm

50 ppb

鍺(Ge),max

0.1 ppm

50 ppb

鋯(Zr),max

0.2 ppm

50 ppb

汞(Hg),max

0.1 ppm

10 ppb

有效期

36個月

36個月

鉀(K),max

1  ppm

10 ppb

/

 

 

六、包裝:

罐子: 材質:不銹鋼316L ,罐內電解拋光。閥門類型:四分之一英寸隔膜閥。

閥門:主體材料:不銹鋼316L。連接尺寸:四分之一英寸VCR。

規格:14.2kg、72kg、300kg                                

 

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貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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